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PSS圖案檢查設備 “APPRAISER”

APPRAISER能夠對PSS晶圓上的圖案形狀分布進行快速檢查,
快速判斷PSS晶圓缺陷並可回饋製程改良.
適用於PSS晶圓廠出貨檢查及LED晶片廠入料檢查.


1. 特徵
  A) LED晶片生產良率具有高度相關性
  B) 全面逐一快速檢查圖案形狀
  C) 能特定出造成生產良率下降的關鍵製程以及可視化管理
  D) 具備報告自動產生功能,可隨時分析並改善製程


2. 檢查結果例

 
 
 
   
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