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圖案檢查設備 >PSS晶圓圖案檢查設備
 
 
PSS圖案檢查設備 “APPRAISER”

APPRAISER能夠對PSS晶圓上的圖案形狀分布進行快速檢查，
快速判斷PSS晶圓缺陷並可回饋製程改良.
適用於PSS晶圓廠出貨檢查及LED晶片廠入料檢查.

1. 特徵
  A) 與LED晶片生產良率具有高度相關性
  B) 全面逐一快速檢查圖案形狀
  C) 能特定出造成生產良率下降的關鍵製程以及可視化管理
  D) 具備報告自動產生功能，可隨時分析並改善製程

2. 檢查結果例
  
 
 
   
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